ACE i300
性能良好,多項(xiàng)關(guān)鍵工藝指標(biāo)達(dá)到領(lǐng)域先進(jìn)水平。ACE i300依托北方華創(chuàng)多年的刻蝕經(jīng)驗(yàn)積累,采用高密度、低損傷等離子源設(shè)計(jì),同時(shí)配備北方華創(chuàng)成熟的遠(yuǎn)程ICP(電感耦合等離子體源)技術(shù),達(dá)到高水平的去膠速率,并實(shí)現(xiàn)去膠損傷抑制;采用獨(dú)立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)均勻的流場(chǎng)分布,去膠均勻性表現(xiàn)良好;腔室壁配備獨(dú)立控溫系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)良好的顆粒控制水平。
以市場(chǎng)為導(dǎo)向,為客戶創(chuàng)造更大價(jià)值。ACE i300可配置大氣、真空兩種傳輸平臺(tái),滿足客戶不同工藝需求;同時(shí),搭配雙腔(twin-chamber)設(shè)計(jì),產(chǎn)能表現(xiàn)優(yōu)秀;機(jī)臺(tái)維護(hù)便捷,關(guān)鍵耗材使用壽命長(zhǎng),滿足客戶低成本運(yùn)維需求。
作為國(guó)產(chǎn)刻蝕設(shè)備的開(kāi)拓者及引航者,北方華創(chuàng)將始終以科技創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng),不斷開(kāi)拓刻蝕領(lǐng)域全新應(yīng)用,助力更多客戶實(shí)現(xiàn)更大價(jià)值,推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步,創(chuàng)造無(wú)限可能!